目前，微型零件加工利用的主要是高能量密集型的激光束，如飛行時激光器，飛秒激光器，高壓水平激光器和超聲波激光器。這些激光束具有高能量密度，可以直接照射到微型零件表面，而不會受到環(huán)境的影響，實現(xiàn)了對零件的精確加工。但這些激光束的加工效率較低，加工精度也較低，而且還易造成材料的燒傷。

　　對于高加工精度要求的微型零件，目前常用的是水蒸氣激光器。水蒸氣激光具有高能量密度，可以直接照射到微型零件表面，而不會受到環(huán)境的影響，可以實現(xiàn)對零件的精確加工。此外，水蒸氣激光器還具有較高的加工精度，可以有效避免材料的燒傷，因此，水蒸氣激光對于微型零件的加工具有較高的經濟效益。

　　為了提高水蒸氣激光器的加工效率，可以采用多級跳躍激光器。多級跳躍激光器的原理是使用多個水蒸氣激光器，每個水蒸氣激光器只能產生一個能量級，而多級跳躍激光器可以產生多個能量級。這樣，就可以大大提高水蒸氣激光器的加工效率。

　　此外，對于高加工速度要求的微型零件，可以采用飛秒激光器。飛秒激光器具有高能量密度，可以直接照射到微型零件表面，而不會受到環(huán)境的影響，可以實現(xiàn)對零件的精確加工。此外，飛秒激光器還具有較高的加工速度，可以有效提高加工效率。

　　總之，微型零件的加工具有較高的經濟效益，而且可以提高加工精度。因此，微型零件的加工是未來發(fā)展的趨勢。